Self-segregating materials for immersion lithography

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标题	Self-segregating materials for immersion lithography 用于浸没式光刻的自偏析材料相关领域抵抗浸没式光刻材料科学接触角平版印刷术薄脆饼含氟聚合物沉浸式（数学）聚合物复合材料光刻高折射率聚合物纳米技术光学光电子学折射率物理纯数学图层（电子）数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.772937
DOI	10.1117/12.772937 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE 作者：Daniel P. Sanders; Linda K. Sundberg; Phillip J. Brock; Hiroshi Itô; Hoa D. Truong; et al 出版日期：2008-03-14
求助人	觞f 在 2024-10-25 15:09:01 发布自中国，悬赏 20 积分
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