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标题
Selective SnOx Atomic Layer Deposition Driven by Oxygen Reactants
氧反应物驱动的SnOx原子层选择性沉积
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材料科学 原子层沉积 无定形固体 微晶 带隙 薄膜 椭圆偏振法 分析化学(期刊) 双层 氧化铟锡 化学工程 臭氧 X射线光电子能谱 氧化锡 氧化物 纳米技术 结晶学 光电子学 化学 冶金 工程类 有机化学 生物化学 色谱法
网址
DOI
10.1021/acsami.8b12251 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Jung-Hoon Lee; M.H. Yoo; Donghee Kang; Hyun-Mo Lee; Wan-Ho Choi; et al
出版日期:2018-09-10
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