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 Lithium phosphorus oxynitride solid-state thin-film electrolyte deposited and modified by bias sputtering and low temperature annealing 偏压溅射和低温退火沉积和改性磷氮锂固态薄膜电解质
相关领域
电解质
材料科学
无定形固体
薄膜
退火（玻璃）
溅射
溅射沉积
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锂（药物）
电导率
分析化学（期刊）
化学工程
复合材料
纳米技术
化学
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期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Kuo‐Feng Chiu; C. C. Chen; Kuang C. Lin; Chang‐Cheng Lo; Hong‐Ping Lin; et al 出版日期：2010-06-16 |
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