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标题
Area Selective Deposition for Bottom-up Atomic-Scale Manufacturing
用于自下而上原子级制造的区域选择性沉积
相关领域
原子单位 沉积(地质) 原子层沉积 比例(比率) 材料科学 纳米技术 环境科学 地质学 物理 薄膜 古生物学 量子力学 沉积物
网址
DOI
10.1016/j.ijmachtools.2024.104173 doi
其它 期刊:International Journal of Machine Tools & Manufacture
作者:Rong Chen; Eryan Gu; Kun Cao; Jingming Zhang
出版日期:2024-06-01
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罗霄山 在 2024-09-16 08:20:43 发布自浙江,悬赏 10 积分
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