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 Effects of Chemical-Electrical and Mechanical Parameters on Electrical-induced Chemical Mechanical Polishing of GaN 化学——电和机械参数对GaN电致化学机械抛光的影响
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Zhao Ding; Shiwei Niu; Qingyu Yao; Y. Wang; Huaijun Guan; et al 出版日期：2021-12-01 |
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