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 Plasma induced damage on AlGaN/GaN heterostructure during gate opening for power devices 功率器件栅极开启过程中等离子体对AlGaN/GaN异质结构的损伤
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Oleh Fesiienko; Camille Petit‐Etienne; Maxime Darnon; A. Soltani; Hassan Maher; et al 出版日期：2023-04-03 |
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