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[求助补充材料]
 Moisture barrier properties of low-temperature atomic layer deposited Al2O3 using various oxidants 不同氧化剂低温原子层沉积Al2O3的防潮性能
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期刊：Ceramics International 作者：Taewook Nam; Haksoo Lee; Seunggi Seo; Sung‐Min Cho; Bonggeun Shong; et al 出版日期：2019-06-20 |
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