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Impact of oxygen content on phase constitution and ferroelectric behavior of hafnium oxide thin films deposited by reactive high-power impulse magnetron sputtering
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期刊:Acta Materialia 作者:Samantha T. Jaszewski; Eric R. Hoglund; Anna Costine; Marc Weber; Shelby S. Fields; et al 出版日期:2022-08-01 |
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