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 Electron holography characterization of the electrostatic potential of thin high-κ dielectric film embedded in gate stack 栅极堆叠中高κ介质薄膜静电势的电子全息表征
相关领域
电介质
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yuan Yao; Yang Yang; X. F. Duan; Y. G. Wang; Richeng Yu; et al 出版日期：2011-10-17 |
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