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Defect simulation in SEM images using generative adversarial networks
基于生成对抗网络的SEM图像缺陷模拟
相关领域
计算机科学
生成语法
人工神经网络
人工智能
生成对抗网络
图像处理
薄脆饼
图像(数学)
计算机工程
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工程类
电气工程
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其它 |
期刊:Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV 作者:Zhe Wang; Liangjiang Yu; Lingling Pu 出版日期:2021-02-22 |
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