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 An alternative solution to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical sensors: comparison between using high-order modes and reducing dimensions 提高谐振微悬臂梁化学传感器灵敏度的替代方案：使用高阶模态与降维的比较
相关领域
材料科学
悬臂梁
灵敏度（控制系统）
偏转（物理）
固有频率
硅
光电子学
微观结构
500千赫
微电子机械系统
声学
光学
电子工程
复合材料
物理
振动
工程类
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators B Chemical 作者：Frédéric Lochon; Isabelle Dufour; Dominique Rebière 出版日期：2005-01-13 |
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