Fabrication of a 50 nm half-pitch wire grid polarizer using nanoimprint lithography

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标题	Fabrication of a 50 nm half-pitch wire grid polarizer using nanoimprint lithography 用纳米压印光刻技术制作50nm半间距线栅偏振器相关领域纳米压印光刻材料科学偏振器制作蚀刻（微加工）纳米光刻光电子学下一代光刻消光比平版印刷术栅栏基质（水族馆）抵抗光学电子束光刻波长纳米技术图层（电子）替代医学医学病理地质学双折射海洋学物理
网址	https://doi.org/10.1088/0957-4484/16/9/076
DOI	10.1088/0957-4484/16/9/076 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Seh-Won Ahn; Ki-Dong Lee; Jin-Sung Kim; Sang Hoon Kim; Joo-Do Park; et al 出版日期：2005-07-22
求助人	老迟到的幻天在 2024-11-10 20:31:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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