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 Integration Technology for Wafer-Level LiNbO3 Single-Crystal Thin Film on Silicon by Polyimide Adhesive Bonding and Chemical Mechanical Polishing 硅片级LiNbO3单晶薄膜的聚酰亚胺粘接与化学机械抛光集成技术
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期刊：Nanomaterials 作者：Wenping Geng; Xiangyu Yang; Gang Xue; Wenhao Xu; Kaixi Bi; et al 出版日期：2021-09-29 |
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