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 Etching and micro-optics fabrication in diamond using chlorine-based inductively-coupled plasma 氯基电感耦合等离子体刻蚀金刚石及微光学器件制备
相关领域
制作
感应耦合等离子体
钻石
蚀刻（微加工）
材料科学
氯
光电子学
等离子体
等离子体刻蚀
反应离子刻蚀
纳米技术
光学
冶金
物理
图层（电子）
替代医学
病理
医学
量子力学
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| 其它 |
期刊：Diamond and Related Materials 作者：Chee-Leong Lee; Erdan Gu; Martin D. Dawson; I. Friel; G.A. Scarsbrook 出版日期：2008-01-16 |
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