已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Etching and micro-optics fabrication in diamond using chlorine-based inductively-coupled plasma

制作 感应耦合等离子体 钻石 蚀刻(微加工) 材料科学 光电子学 等离子体 等离子体刻蚀 反应离子刻蚀 纳米技术 光学 冶金 物理 图层(电子) 替代医学 病理 医学 量子力学
作者
Chee-Leong Lee,Erdan Gu,Martin D. Dawson,I. Friel,G.A. Scarsbrook
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier]
卷期号:17 (7-10): 1292-1296 被引量:100
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2008.01.011
摘要

The effect of Inductively-Coupled Plasma (ICP) etching on diamond using chlorine-based plasma has been investigated. The diamond materials studied include type IIa natural diamond, High Pressure and High Temperature (HPHT) diamond and Chemical Vapour Deposition (CVD) diamond. It was found that argon and chlorine (Ar/Cl2) ICP plasma etching can improve the smoothness of the diamond surface. By using this method, a minimum root-mean-squared (rms) surface roughness of 0.19 nm has been achieved. To demonstrate optimized Ar/Cl2 plasma etching, diamond spherical micro-lenses and micro-trenches were fabricated. Compared to argon and oxygen (Ar/O2) plasma etching, Ar/Cl2 plasma etching has a low selectivity with respect to the photo-resist mask, which enables an accurate control over the dimensions of the microstructures fabricated. The surface quality and profiles of these micro-lenses and micro-trenches were characterized by atomic force microscopy (AFM) and were shown to be better than those fabricated by Ar/O2 ICP plasma.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
路其安发布了新的文献求助10
5秒前
Cwc'ci发布了新的文献求助50
7秒前
qi完成签到 ,获得积分10
9秒前
忧伤的树叶完成签到 ,获得积分10
11秒前
13秒前
路其安完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
忧伤的树叶关注了科研通微信公众号
15秒前
16秒前
斯文败类应助长风采纳,获得10
17秒前
有信心完成签到 ,获得积分10
17秒前
20秒前
26秒前
shinysparrow应助长孙兰溪采纳,获得200
26秒前
27秒前
29秒前
gq发布了新的文献求助10
32秒前
nenoaowu应助小熊5号采纳,获得30
34秒前
111完成签到 ,获得积分10
35秒前
626完成签到 ,获得积分10
37秒前
bukeshuo发布了新的文献求助10
37秒前
小蘑菇应助dogontree采纳,获得10
39秒前
ran完成签到 ,获得积分10
39秒前
40秒前
Rainbow完成签到,获得积分10
41秒前
41秒前
42秒前
42秒前
43秒前
youy完成签到 ,获得积分10
45秒前
脑洞疼应助魔幻熊猫采纳,获得10
45秒前
Rainbow发布了新的文献求助10
46秒前
上官若男应助626采纳,获得30
46秒前
晏yan完成签到,获得积分10
47秒前
wsqg123完成签到,获得积分10
48秒前
瀚森发布了新的文献求助20
48秒前
白蓝发布了新的文献求助10
50秒前
自由的雪发布了新的文献求助10
51秒前
53秒前
小可完成签到 ,获得积分10
54秒前
高分求助中
The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000
юрские динозавры восточного забайкалья 800
English Wealden Fossils 700
Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500
宽禁带半导体紫外光电探测器 388
COSMETIC DERMATOLOGY & SKINCARE PRACTICE 388
Pearson Edxecel IGCSE English Language B 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3142425
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2793350
关于积分的说明 7806409
捐赠科研通 2449622
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1303363
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 626850
版权声明 601309