标题 |
Fabrication of Three-Dimensional Microstructures on GaN Surfaces through the Integration of Femtosecond Laser Ablation and ICP Etching
飞秒激光烧蚀与ICP刻蚀集成在GaN表面制备三维微结构
相关领域
材料科学
飞秒
光学
制作
蚀刻(微加工)
烧蚀
激光烧蚀
激光器
光电子学
微观结构
纳米技术
复合材料
医学
物理
替代医学
工程类
病理
图层(电子)
航空航天工程
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Optics Communications 作者:Yan Ou; Peiling Kong; Jinwen Qian; Yifeng Xiao; Sheng Li; et al 出版日期:2024-06-26 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|