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标题
Regulation of copper electrodeposition and its application in chip manufacturing
铜电沉积的调控及其在芯片制造中的应用
相关领域
铜 炸薯条 冶金 业务 嵌入式系统 材料科学 计算机科学 电信
网址
https://doi.org/10.1360/ssc-2023-0131
DOI
10.1360/ssc-2023-0131 doi
其它 期刊：Scientia Sinica Chimica
作者：Xiaoru Liao; Zhen Li; Baizhao Tan; Jiye Luo; Daniel Shi
出版日期：2023-08-09
求助人
dragonraja 在 2025-01-15 22:59:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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