Deposition High Quality P-type Microcrystalline Silicon Thin Films by RF-PECVD

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标题	Deposition High Quality P-type Microcrystalline Silicon Thin Films by RF-PECVD RF-PECVD沉积高质量P型微晶硅薄膜相关领域微晶硅等离子体增强化学气相沉积材料科学微晶沉积（地质）硅晶体硅结晶学光电子学非晶硅化学沉积物生物古生物学
网址	https://doi.org/10.1109/icsai48974.2019.9010228
DOI	10.1109/icsai48974.2019.9010228 doi
其它	期刊：作者：Guo Qun-Chao; Xinhua Geng 出版日期：2019-11-01
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