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 Effective Optimization Strategy for Electron Beam Lithography of Molecular Glass Negative Photoresist 分子玻璃负极光刻的有效优化策略
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期刊：Advanced Materials Interfaces 作者：Jiaxing Gao; Siliang Zhang; Xuewen Cui; Cong Xue; Xudong Guo; et al 出版日期：2023-06-16 |
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