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Accuracy improvement of surface measurement through phase correction in spectrally resolved interferometer
用相位校正提高光谱分辨干涉仪表面测量精度
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期刊:Optics and Lasers in Engineering 作者:Mengsi Zhang; Zhiyuan Wang; Songjie Luo; Xuanxuan Ji; Ziyang Chen; et al 出版日期:2023-06-01 |
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