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标题
Study of silicon films deposited by EB-PVD and the effect of applying annealing conditions on them
EB-PVD沉积硅薄膜及退火条件对其影响的研究
相关领域
材料科学 无定形固体 退火（玻璃） 非晶硅 拉曼光谱 硅 结晶 化学气相沉积 晶体硅 化学工程 光学 纳米技术 复合材料 结晶学 光电子学 化学 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2017.10.052
DOI
10.1016/j.ijleo.2017.10.052 doi
其它 期刊：Optik
作者：Meysam Zarchi; Shahrokh Ahangarani
出版日期：2017-10-14
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么么哒 在 2025-04-16 14:59:15 发布自上海，悬赏 10 积分
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