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标题
Indium nitrate hydrate resist characteristics evaluated by low-energy electron beam exposure
低能电子束曝光评价硝酸铟水合物抗蚀剂特性
相关领域
抵抗 阴极射线 材料科学 硝酸盐 水合物 环境科学 电子 光电子学 纳米技术 化学 物理 核物理学 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/12.3010889 doi
其它 期刊:
作者:Marisol Valdez; Alexandra Joshi‐Imre; Justin C. Bonner; Leigh Preimesberger; Jesse Grayson; et al
出版日期:2024-04-09
求助人
Heidi 在 2024-12-23 10:40:22 发布自美国,悬赏 20 积分
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