Deposition and characterization of crystalline conductive RuO2 thin films

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标题	Deposition and characterization of crystalline conductive RuO2 thin films 晶体导电RuO2薄膜的制备与表征相关领域材料科学氧化钇稳定氧化锆薄膜脉冲激光沉积外延基质（水族馆）立方氧化锆电阻率和电导率透射电子显微镜复合材料纳米技术图层（电子）陶瓷工程类地质学电气工程海洋学
网址	https://doi.org/10.1557/jmr.1995.2401
DOI	10.1557/jmr.1995.2401 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Q. X. Jia; Shigeng Song; S. R. Foltyn; Xin Wu 出版日期：1995-10-01
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