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 A fast and manufacture-friendly optical proximity correction based on machine learning 基于机器学习的快速且成本友好的光学接近性修正
相关领域
光学接近校正
可制造性设计
计算机科学
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Xu Ma; Shangliang Jiang; Jie Wang; Bingliang Wu; Zhiyang Song; et al 出版日期：2017-01-01 |
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