Thick PECVD silicon dioxide films for MEMS devices - 科研通

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标题	Thick PECVD silicon dioxide films for MEMS devices 用于MEMS器件的PECVD二氧化硅厚膜相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学二氧化硅薄脆饼硅化学气相沉积体积流量沉积（地质）微电子机械系统复合材料残余应力分析化学（期刊）光电子学化学物理古生物学生物量子力学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2016.01.003
DOI	10.1016/j.sna.2016.01.003 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Shih-Shian Ho; Srihari Rajgopal; Mehran Mehregany 出版日期：2016-01-11
求助人	研人员在 2024-12-27 13:26:51 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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