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 Constructing and characterizing a novel MEMS-based Tuning Fork Gyroscope using PolyMUMPs 基于PolyMUMPs的新型MEMS音叉陀螺仪的构建与表征
相关领域
陀螺仪
微电子机械系统
振动结构陀螺仪
音叉
验证质量
微电子
加速度计
计算机科学
电子工程
灵敏度（控制系统）
工程类
电气工程
声学
材料科学
航空航天工程
物理
光电子学
操作系统
振动
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| 其它 |
期刊：Microsystem Technologies 作者：V. S. Selvakumar; L. Sujatha; Vishal Balasubramanian 出版日期：2021-01-03 |
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