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 Magnetron sputtering issues concerning growth of magnetic films: a technical approach to background, solutions, and outlook 磁控溅射与磁性薄膜生长有关的问题：背景、解决方案和展望的技术途径
相关领域
溅射
高功率脉冲磁控溅射
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期刊：Applied Physics A 作者：Ali Kosari Mehr; Abbas Kosari Mehr 出版日期：2023-09-01 |
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