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标题
Enhanced Sensitivity and Stability of a Novel Resonant MEMS Electric Field Sensor Based on Closed-Loop Feedback
基于闭环反馈的新型谐振MEMS电场传感器的灵敏度和稳定性增强
相关领域
灵敏度(控制系统) 控制理论(社会学) 信号(编程语言) 微电子机械系统 理论(学习稳定性) 工程类 反馈回路 电压 领域(数学) 电场 电子工程 声学 物理 计算机科学 电气工程 光电子学 数学 机器学习 量子力学 人工智能 计算机安全 程序设计语言 纯数学 控制(管理)
网址
DOI
10.1109/jsen.2021.3107511 doi
其它 期刊:IEEE Sensors Journal
作者:Xiangming Liu; Zilong Wang; Zhengwei Wu; Yahao Gao; Simin Peng; et al
出版日期:2021-08-24
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