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Development of a broadband Mueller matrix ellipsometer as a powerful tool for nanostructure metrology
作为纳米结构计量有力工具的宽带穆勒矩阵椭偏仪的研制
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期刊:Thin Solid Films 作者:Shiyuan Liu; Xiuguo Chen; Chuanwei Zhang 出版日期:2015-02-10 |
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