使用聚氨酯-CeO 2核-壳颗粒对单晶SiC表面进行无抛光垫的电化学机械抛光

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标题	使用聚氨酯-CeO 2核-壳颗粒对单晶SiC表面进行无抛光垫的电化学机械抛光相关领域抛光材料科学复合材料化学机械平面化表面粗糙度薄脆饼磨料阳极氧化物聚氨酯纳米技术冶金电极物理化学化学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ijmachtools.2016.11.007
DOI	10.1016/j.ijmachtools.2016.11.007 doi
求助人	威武的晓槐在 2024-03-12 17:44:32 发布自广东，悬赏 10 积分
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