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 Enhanced electrical properties of In-Ga-Sn-O thin films at low-temperature annealing 低温退火增强In-Ga-Sn-O薄膜电学性能的研究
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| DOI |
10.1016/j.ceramint.2021.12
doi
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10.1016/j.ceramint.2021.12.183
Doi
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