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![]() 椭偏光谱和XPS能量损失谱的混合用于SiON薄膜带隙和光学常数的测定
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期刊:Materials Chemistry and Physics 作者:João Resende; D. Fuard; Delphine Le Cunff; J.H. Tortai; Bernard Pélissier 出版日期:2020-10-30 |
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