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 Microwave remote plasma enhanced-atomic layer deposition system with multicusp confinement chamber 具有multicusp限制室的微波远程等离子体增强原子层沉积系统
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：A. Dechana; P. Thamboon; Dheerawan Boonyawan 出版日期：2014-10-01 |
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