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 Study on the damage evolution of 6H-SiC under different phosphorus ion implantation conditions and annealing temperatures 不同磷离子注入条件和退火温度下6H-SiC损伤演化研究
相关领域
退火（玻璃）
离子注入
材料科学
离子
磷
分析化学（期刊）
冶金
光电子学
化学
环境化学
有机化学
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期刊：Results in Physics 作者：Jin-Jun Gu; Jin-Hua Zhao; Ming-Yang Bu; Sumei Wang; Fan Li; et al 出版日期：2022-12-01 |
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