Study on the damage evolution of 6H-SiC under different phosphorus ion implantation conditions and annealing temperatures

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标题	Study on the damage evolution of 6H-SiC under different phosphorus ion implantation conditions and annealing temperatures 不同磷离子注入条件和退火温度下6H-SiC损伤演化研究相关领域退火（玻璃）离子注入材料科学离子磷分析化学（期刊）冶金光电子学化学环境化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.rinp.2022.106127
DOI	10.1016/j.rinp.2022.106127 doi
其它	期刊：Results in Physics 作者：Jin-Jun Gu; Jin-Hua Zhao; Ming-Yang Bu; Sumei Wang; Fan Li; et al 出版日期：2022-12-01
求助人	ZYH 在 2024-08-13 11:46:00 发布自湖北，悬赏 10 积分
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