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标题
Controlled ALE-type recess of molybdenum for future logic and memory applications
用于未来逻辑和存储器应用的受控ALE型钼凹槽
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网址
https://doi.org/10.1109/iitc51362.2021.9537407
DOI
10.1109/iitc51362.2021.9537407 doi
其它 期刊：
作者：Antoine Pacco; Teppei Nakano; Akihisa Iwasaki; Shota Iwahata; Efrain Altamirano Sánchez
出版日期：2021-07-06
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包容惜雪 在 2025-01-15 00:58:44 发布自湖北，悬赏 10 积分
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