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 Structural and electrical properties of magnetron sputtered Ti(ON) thin films: The case of TiN doped in situ with oxygen 磁控溅射Ti（ON）薄膜的结构和电学性能：原位掺氧TiN的情况
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期刊：Journal of Power Sources 作者：Anita Trenczek-Zając; M. Radecka; K. Zakrzewska; A. Brudnik; E. Kusior; et al 出版日期：2009-01-04 |
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