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 Lifetime estimation of extreme-ultraviolet pellicle at 500 W source power by thermal stress analysis 500 W光源功率下极紫外薄膜寿命的热应力分析
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期刊： 作者：Eun‐Sang Park; Chung-Hyun Ban; Hye-Keun Oh; Jae‐Hun Park 出版日期：2017-10-16 |
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