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标题
Highly sensitive positive-working molecular resist based on new molecule
基于新分子的高灵敏度正性分子抗蚀剂
相关领域
抵抗 分子 水溶液 材料科学 化学 分析化学(期刊) 纳米技术 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.1116/1.3204984 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
作者:Shigeki Hattori; Arisa Yamada; Satoshi Saito; Koji Asakawa; Takeshi Koshiba; et al
出版日期:2009-08-27
求助人
lll6xz 在 2024-11-20 16:10:27 发布自江苏,悬赏 10 积分
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