标题 |
Highly sensitive positive-working molecular resist based on new molecule
基于新分子的高灵敏度正性分子抗蚀剂
相关领域
抵抗
苯
分子
水溶液
材料科学
化学
分析化学(期刊)
纳米技术
有机化学
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者:Shigeki Hattori; Arisa Yamada; Satoshi Saito; Koji Asakawa; Takeshi Koshiba; et al 出版日期:2009-08-27 |
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