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 Mechanical Stress Distribution and the Effects of Process Parameter Changes in Vertical NAND Flash Memory 垂直NAND闪存的机械应力分布及工艺参数变化的影响
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期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者：Yeon Namkoong; Hyung Jun Yang; Yun‐Heub Song 出版日期：2017-03-19 |
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