Pulsed N2 plasma surface treatment for AlGaN/GaN HEMTs prior to PECVD SiNx passivation to reduce plasma damage - 科研通

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标题	Pulsed N2 plasma surface treatment for AlGaN/GaN HEMTs prior to PECVD SiNx passivation to reduce plasma damage PECVD SiNx钝化前AlGaN/GaN HEMT的脉冲N2等离子体表面处理以减少等离子体损伤相关领域钝化材料科学光电子学等离子体等离子体增强化学气相沉积宽禁带半导体氮化镓高电子迁移率晶体管晶体管硅纳米技术图层（电子）电气工程物理工程类量子力学电压
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0235740
DOI	10.1063/5.0235740 doi
求助人	dddhp 在 2025-01-11 23:30:54 发布自北京，悬赏 10 积分
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