标题 |
A novel nanoprobing analysis flow by using multi-probe configuration to localize silicide defect in MOSFET
利用多探针结构定位MOSFET中硅化物缺陷的新型纳米探针分析流程
相关领域
MOSFET
硅化物
材料科学
光电子学
晶体管
泄漏(经济)
电气工程
逻辑门
电子工程
工程类
电压
硅
宏观经济学
经济
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DOI | |
其它 |
期刊:Microelectronics reliability/Microelectronics and reliability 作者:Shijun Zheng; Jianli Yang; Liangliang Tian; Yi Che; Lin Zhai 出版日期:2022-11-01 |
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