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Pyrolyzed Photoresist Thin Film: Effect of Electron Beam Patterning on Dc and Thz Conductivity
热解光刻胶薄膜:电子束图案化对直流和太赫兹电导率的影响
相关领域
光刻胶
太赫兹辐射
材料科学
光电子学
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电子
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电子束光刻
纳米技术
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期刊: 作者:Justinas Jorudas; Hamza Rehman; G. Fedorov; Maria Cojocari; Petri Karvinen; et al 出版日期:2023-01-01 |
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