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Radially-dependent ignition process of a pulsed capacitively coupled RF argon plasma over 300 mm-diameter electrodes: multi-fold experimental diagnostics
300 mm直径电极上脉冲电容耦合射频氩等离子体的径向相关点火过程:多重实验诊断
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Zi-Xuan Su; De-Hua Shi; Yong-Xin Liu; Kai Zhao; Fei Gao; et al 出版日期:2021-11-29 |
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