Fabrication and characterization of PZT thin-film vibrators for micromotors

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标题	Fabrication and characterization of PZT thin-film vibrators for micromotors 微电机用PZT薄膜振动器的制备与表征相关领域定子材料科学压电转子（电动）扭矩振动制作电压超声波电动机薄膜振幅伏特溅射光电子学电气工程复合材料光学声学纳米技术物理工程类医学病理热力学替代医学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/0924-4247(95)00994-9
DOI	10.1016/0924-4247(95)00994-9 doi
求助人	风中的夕阳在 2024-12-29 13:05:37 发布自美国，悬赏 10 积分
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