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Influence of Lateral Straggling of Implated Aluminum Ions on High Voltage 4H-SiC Device Edge Termination Design
注入铝离子横向散射对高压4H-SiC器件边缘终端设计的影响
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期刊:Materials science forum 作者:Yi Jiang; B. Jayant Baliga; Alex Q. Huang 出版日期:2018-06-05 |
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