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标题
Investigation of onium salt type photoacid generators in positive DUV resist systems
正性DUV抗蚀剂体系中鎓盐型光致产酸剂的研究
相关领域
抵抗 硫 三氟甲磺酸 化学 分析化学（期刊） 盐（化学） 结晶学 立体化学 物理化学 有机化学 催化作用 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.175339
DOI
10.1117/12.175339 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Michael F. Cronin; Timothy G. Adams; Theodore H. Fedynyshyn; Jacque H. Georger; J. Michael Mori; et al
出版日期：1994-05-16
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虚心盼夏 在 2025-03-12 13:48:53 发布自上海，悬赏 20 积分
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