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 Properties of Al-SiO2-SiC(3C) Structures with Thermally Grown and PECVD Deposited SiO2 Layers 热生长和PECVD沉积SiO2层Al-SiO2-SiC（3C）结构的性能
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期刊：ECS Transactions 作者：H. M. Przewłocki; Tomasz Gutt; Krzysztof Piskorski; Paweł Borowicz; Mietek Bakowski 出版日期：2013-08-31 |
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