Metalorganic chemical vapor deposition of (100) β-Ga2O3 on on-axis Ga2O3 substrates

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标题	Metalorganic chemical vapor deposition of (100) β-Ga2O3 on on-axis Ga2O3 substrates （100）β-Ga2O3在同轴Ga2O3衬底上的金属有机化学气相沉积相关领域金属有机气相外延化学气相沉积材料科学电子迁移率分析化学（期刊）薄膜增长率表面粗糙度体积流量硅烷外延化学图层（电子）纳米技术光电子学复合材料量子力学色谱法物理数学几何学
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0002179
DOI	10.1116/6.0002179 doi
求助人	Maji 在 2024-11-01 17:01:46 发布自福建，悬赏 10 积分
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