表面微加工
薄脆饼
微型泵
硅
材料科学
压电
蚀刻（微加工）
体微机械加工
光电子学
往复泵
实现（概率）
微电子机械系统
机械工程
电子工程
制作
液压泵
纳米技术
工程类
复合材料
图层（电子）
统计
替代医学
病理
医学
数学
作者
H.T.G. van Lintel,F.C.M. van de Pol,S. Bouwstra
出处
期刊：Sensors and Actuators
[Elsevier]
日期：1988-10-01
卷期号：15 (2): 153-167
被引量：615
标识
DOI：10.1016/0250-6874(88)87005-7
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
劲秉
杳鸢
不配.
VDC
坚强的广山
吃不饱星球球长
嗯哼
mss12138
Darcy
云瑾
乐乐乐乐乐乐
pluto
彭于彦祖
聪仔
iNk
tuanheqi
jyy
殷勤的紫槐
宜醉宜游宜睡
柳叶刀小猪
皖公网安备34019202002308
