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Wafer-scale integration of two-dimensional perovskite oxides towards motion recognition

光探测 材料科学 纳米技术 钙钛矿(结构) 光电子学 纳米片 可扩展性 制作 半导体 薄脆饼 异质结 计算机科学 光电探测器 化学 病理 数据库 医学 结晶学 替代医学
作者
Ming Deng,Ziqing Li,Shiyuan Liu,Xiaosheng Fang,Limin Wu
出处
期刊:Nature Communications [Springer Nature]
卷期号:15 (1) 被引量:39
标识
DOI:10.1038/s41467-024-52840-2
摘要

Abstract Two-dimensional semiconductors have shown great potential for the development of advanced intelligent optoelectronic systems. Among them, two-dimensional perovskite oxides with compelling optoelectronic performance have been thriving in high-performance photodetection. However, harsh synthesis and defect chemistry severely limit their overall performance and further large-scale heterogeneous integration. Here, we report the wafer-scale integration of highly oriented nanosheets by introducing a charge-assisted oriented assembly film-formation process and confirm its universality and scalability. The shallow-trap dominance induced by structural optimization endows the device with a distinguished performance balance, including high photosensitivity close to that of single nanosheet units and fast response speed. An integrated ultra-flexible 256-pixel device demonstrates the versatility of material-to-substrate integration and conformal imaging functionality. Moreover, the device achieves efficient recognition of multidirectional motion trajectories with an accuracy of over 99.8%. Our work provides prescient insights into the large-area fabrication and utilization of 2D perovskite oxides in advanced optoelectronics.
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